阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造

阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造

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  比利时微电子研究中心(IMEC)已成功利用阿斯麦最先进的极紫外光刻(EUV)设备,实现了纳米孔的全晶圆级制造,纳米孔的特性在生物医学领域极具研究价值。阿斯麦公司公关负责人将此称作其公司设备“一项出人意料的卓越生物医学应用”。鉴于纳米孔为分子传感技术开辟的广阔前景,这项突破或将成为该领域的重要进展。

(文章来源:科创板日报)


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