全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

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  据杭州日报,近日,作为基地首批签约孵化项目之一,全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

  在测试现场,浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着,一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试,电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器,而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’!”团队负责人告诉记者,依托省重点实验室,这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。

(文章来源:财联社)


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